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2025-07-26 0
ASML取得对光刻系统进行建模以供执行预测性维护方法的专利
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2025年07月26日 13:51 0
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金融界2025年7月26日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司取得一项名为“对诸如光刻系统的系统进行建模以供执行系统的预测性维护的方法”的专利，授权公告号CN115210651B，申请日期为2021年02月。
本文源自金融界
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