重庆芯联微电子申请优化计算光刻回圈计算收敛相关专利，显著提升计算效率与收敛稳定性

今日新闻 2025年08月22日 16:33 0 admin

金融界2025年8月22日消息，国家知识产权局信息显示，重庆芯联微电子有限公司申请一项名为“优化计算光刻回圈计算收敛的方法、系统、终端及介质”的专利，公开号CN120522984A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本发明提供一种优化计算光刻回圈计算收敛的方法、系统、终端及介质，通过模型对光罩图形在光刻过程中的行为进行仿真，得到仿真光罩图形，进而基于其与仿真目标的差值动态确定当前回圈的反馈权重值，计算光罩图形边缘移动值并调整图形，形成的新光罩图形作为下一次仿真输入，循环直至输出符合目标的结果。本发明区别于现有技术仅能按固定圈数设定反馈权重值，本方案根据不同的EPE区间设定差异化的反馈权重值，这种动态调整机制显著提升了计算效率与收敛稳定性，尤其适用于先进制程中复杂光罩图形的高精度优化需求。

天眼查资料显示，重庆芯联微电子有限公司，成立于2023年，位于重庆市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本870000万人民币。通过天眼查大数据分析，重庆芯联微电子有限公司参与招投标项目728次，专利信息157条，此外企业还拥有行政许可12个。

本文源自金融界