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专利摘要显示,本公开提供一种单元接触结构及其半导体元件。该单元接触结构包括:一底部接触层,位于一基板上并被多个位元线结构和多个分隔层包围;一衬层,位于该底部接触层与该基板之间、该底部接触层与多个位元线结构之间、和该底部接触层与多个分隔层之间;以及一顶部接触层,位于该底部接触层与该衬层之间。该底部接触层的一顶表面和该衬层的一顶表面实质上共平面。该衬层包括经掺杂的多晶硅、经掺杂的多晶锗、或经掺杂的多晶硅锗。该底部接触层包括钨、钛、或氮化钛。
本文源自金融界
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