芯片专家评价中国芯片：整个设备产业链齐全，大约5年后攻克EUV

今日新闻 2025年09月30日 06:38 1 aa

造不出EUV光刻机，是不是中国芯片的“天花板”？有人这么说。可芯片专家一句话就把这事儿扭了个弯儿：“五年后有希望，真不一定够不着。”

那到底凭啥敢这么说？咱现在，到底离这玩意儿有多远？

底子打得牢，楼才能盖得高——中国设备链条搭起来了

想造EUV光刻机，首先你得有一整套设备产业链。不能光盯着光刻机本身，得从头捋起。

这活儿，咱这些年没少干，现在这条链条已经搭得差不多了。

根据2025年4月的产业报告，中国的半导体设备已经分成三大块：

头一块是零件，比如轴承、陶瓷、小马达、光学玻璃、真空泵这些；中间是整台设备，比如刻蚀机、清洗机、薄膜机这些；最后一块是芯片厂那边的制造端，比如中芯国际、华虹这些公司。

“最不起眼”的这第一块，也就是上游的零件。过去，这些都得进口，现在轴承、射频电源、精密石英、传感器这些零件，咱基本能自己造，精度也不差。有些企业，已经给国内设备厂商稳定供货了。

第二块中游设备里像刻蚀机、清洗设备、薄膜沉积设备，国产的已经在各大芯片厂里“上岗”了。像中微公司、北方华创，就是干这个的主力选手。

别小看这些设备，它们跟光刻机就像一桌饭里的碗筷，没有它们，芯片造不成。

那咱到底差在哪？说白了，就差“整合力”——也就是说，咱的设备多了，零件也有了，但要把它们拼成一台能跑得起来、精度高、不出错的EUV光刻机，这一步最难。

好消息是，咱已经在往这条路上走了。

比如，中国自己造出了叫“EUV光刻物镜干涉仪”的设备——验证光学系统精度，用来检测EUV光刻机最贵的“镜头”准不准。

这个设备放在了浙江大学的国家重点实验室，不光能用，还能精确测量，是中国第一台这样的设备。

也就是说，我们现在的进度不是“还没动”，而是“地基打好了，就差盖楼”。

喊五年，不是画饼——是一步步算出来的

芯片专家说“5年后可能搞定EUV”，不是信口胡说，是看了眼下的底子、节奏、技术路径，才这么估的。

那我们来拆一下，为什么是五年，不是三年，也不是十年？

要造EUV光刻机，有三个大坎要过：光源、镜头、整机拼装调试。而光源是EUV里最核心的“灯泡”，得喷出一种叫极紫外线的光。

这个光特别娇贵，要在真空里跑，穿过一堆镜头，打在芯片上。现在中国还没完全搞定这个光源，但已经有好几家大学和研究机构在试验，不再是“连门在哪都不知道”的状态。

镜头方面，中国在做的“干涉仪”就是专门用来检查这些镜头的。2025年左右，设备是在浙江大学做出来的。有了这设备，咱就能知道镜头是不是合格，为整机拼装打基础。

整机调试就更复杂了，要把几十个子系统拼一起，既得对得上、装得牢、还能不出毛病。这是得整个产业链都成熟了才能搞定。

咱再拿国际对手ASML来看看：它从1997年立项开始研究EUV光刻机，到2017年才能出货，整整20年。

中国呢？从2020年正式全力开干，到现在也就5年，但这5年已经搭好了零部件，做出了检测设备，还打通了产业链合作。

咱现在是卡在“最后组装和调试”这一步，正好进入下一阶段的5年攻关周期。

所以说，“五年”是产业发展按部就班的节奏。要真不信，就看看现在的子系统啥样。

比如射频源，也就是给等离子体供能的电力系统，中国目前已经实现60%以上国产化。再比如反应舱、气液控制系统、晶圆传送装置，这些设备已经能稳定供应国产芯片厂了。

你说这不算整机？没错，但拼整机就靠这些块儿拼出来的。拼好了，调好了，五年就不远。

不是“梦中造机”，而是“一步一脚印”搞系统突破

有人老爱说：“ASML一家吃独食，中国哪造得出来？”听着挺吓人，其实仔细一看——咱不光没停，很多地方已经摸到边了。

2025年4月的行业报告里就提到，中国企业在真空系统、清洗设备、刻蚀设备、温控系统这几大类EUV相关设备上，已经建起了自己的供应链。

这些东西干嘛用的？就打个比方，一台EUV光刻机，就像一个超级复杂的照相馆：你得有黑屋子（真空腔）、得有镜头（光学系统）、得有闪光灯（光源）、还得有专业的洗照片机器（刻蚀、清洗、传输），一样都不能少。

过去这些都靠进口，现在咱能自个儿配出半套了。

比如高洁净真空系统，以前只能买国外的，现在国产化已经能供货了。这个系统要保证里面一个尘埃都没有，不然芯片上一个灰就能让一整块芯片报废。现在咱已经能自己造这套系统了。

再比如传送晶圆的机械臂，以前一个得几百万人民币，现在国产的也能上岗了。

重点是——这些不是谁家单打独斗搞出来的，是一堆公司、实验室、政府项目一块干、一块调、一块出成果。这就是所谓的“系统协同”。

此外，还有国家队在背后“给油加马力”。

像国家大基金二期，就把EUV相关项目列成了重点支持名单，钱砸下去了，人才调进来了，结果也慢慢出来了。

2023年到2025年之间，多项和EUV有关的项目完成了中期验收。有啥用？这些项目有的搞光学镀膜，有的做控制系统，有的攻热稳定模块，全是EUV整机需要的部件。

有人可能问：你说了这么多，到底整台EUV出来没？答案是：还没，但已经在往那儿走。

现在咱已经有了测镜头的干涉仪，能造出一大堆子系统，也有能力把这些子系统试着拼一起，试着调试。虽然距离量产还有距离，但这路已经打通一半了。

而在国际方面，中国和ASML之间的技术沟通也没断。比如商务部部长王文涛在2023年就和ASML的CEO温宁克会过面，聊的就是产业链合作。

当然啦，合作是锦上添花，真正的根本，还是得靠自己干出来。

现在的情况就是：工具有了、零件有了、系统在调试中，唯一缺的，就是时间。

那到底要多久？芯片专家说：五年，咱就看得见结果。

参考资料：
逆天，大陆自制EUV成功？.论证天下.2025-04-02

2025年中国半导体设备产业链梳理及投资布局分析.新浪财经.2025-04-02

半导体工业皇冠上的明珠！光刻机产业链上市公司梳理.财联社.2023-04-01

半导体产业链全面梳理，中国还缺什么？.北京电子学会.2019-12-03

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