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国奥科技ZT双轴精密转台：以自主核心技术比肩全球Top标准
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2025年10月15日 16:48 1
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同轴双自由度集成、纳米级精度、全气浮无摩擦 —— 国奥科技自主研发的ZT双轴精密转台（GAS-ZT-10-120）正式发布，打破国际巨头对高端精密运动部件的垄断，为半导体及高精密制造领域提供 “自主可控” 的高端国产化解决方案。
01
核心技术架构：单动子双自由度+全气浮，根除精度损耗
GAS-ZT-10-120 搭载国奥科技自研的单动子双自由度电机解耦技术，实现单个动子同步输出直线（Z轴）与旋转（T轴）运动，双磁场无耦合干扰；配合全气浮轴承设计，替代传统机械接触，彻底消除多轴同步控制带来的精度丢失和累积误差，达成Z轴升降与T轴旋转的纳米级联动控制。
✦核心技术特性
❏ 单动子直线+旋转双轴复合运动；
❏ 双轴纳米级精度；
❏ 全气浮设计，全域无摩擦、零磨损；
❏ 高刚性结构，抗倾覆能力强；
❏ 模块化扩展，支持XYZT多轴联动；
❏ 紧凑设计集成大推力、大转距、高负载；
❏ 符合ISO 14644-1 Class 5以上半导体洁净室标准；
02
双轴性能：纳米级精度+高动态响应
✦Z轴（直线定位）
❏ 全气浮：无齿槽干扰，运行平滑；
❏ 气动平衡系统：有效防止电机过热并有效避免冲击；
❏ 高分辨率光栅编码器：确保纳米级定位与重复位置精度；
✦T轴（旋转分度）
❏ 360°连续旋转：全气浮无间隙、零空回；
❏ 直驱力矩电机：最大加速度达100rad/s²，毫秒级快速响应；
❏ 低扰动设计：保障精度稳定性、提升工艺良率；
T轴重复定位精度：±2.65 arcsec ≈ ±0.00074°
T轴重复定位精度数据监测
✦✦✦温馨提示
arcsec = arc second = 角秒，是一种角度单位。
1 度 (°) = 60 分 (arcmin)
1 分 (arcmin) = 60 秒 (arcsec)
所以 1 arcsec = 1/3600 度 = 0.0002777… 度
SO...
±2.65 arcsec ≈ ±0.00074°（不到一千分之一度）
03
关键性能指标：比肩全球顶尖标准
04
核心应用场景：覆盖高精密制造关键环节
05
客户技术支撑：全链路保障高精密应用
✦定制化运动解决方案
基于客户工艺拆解运动参数（如精度、加速度、负载等），输出从控制算法到硬件集成的专业定制方案。
✦全生命周期技术保障
覆盖安装调试 - 运维 - 升级迭代，专属技术团队响应时效＜6小时，确保设备长期稳定运行。
✦半导体级洁净适配
从材质选型到结构设计，确保设备在严苛洁净场景下合规运行、无二次污染。
END
国奥科技电机技术优势：
可编程高精力控，降低损耗
国奥直线旋转电机带有“软着陆”功能，可实现±1g以内的稳定力度控制，支持速度、加速度及力度控制的程序化设定，使贴装头能够以非常精准的压力触碰芯片表面，降低损耗；
采用中空Z轴设计，预留气管接口，真空吸取、即插即用，并可根据元件结构及特性提供定制化服务。
高精度对位、贴片，保证良率
微米级位置反馈，获取精准数据，±0.01N力控精度，±2μm直线重复定位精度，±0.01°旋转重复定位精度，径向偏摆±1μm，编码器分辨率标准1μm，可在高速运行状态下仍稳定输出，提升良率及可靠性。
“Z+R”轴集成设计，提升速度
创新性的双轴集成化解决方案，将传统“伺服马达+滚珠丝杆”合二为一，解决了Z轴自重负载问题，高速、精准完成元件Pick & Place，贴装等动作，推力曲线平滑，峰值推力8-500N，有效行程10-55mm ，超高循环寿命，实现高效生产。
体积小，重量轻，可电机组合排列
直线旋转电机LRS1025重量仅420g，轻巧的机身重量大大减轻了设备高速运动中负载带来的影响。电机最小厚度仅为10mm，在设备有限的内部空间中可以并排安装多组电机，减少芯片贴装往复运动过程，提升设备贴装效率。
提供“电机+驱动一体化”设计方案
直线电机LAA4510采用“电机+驱动一体化”设计，其系统结构紧凑，电机传动效率更高，可满足先进封装技术对半导体测试分选设备的高速度、高精度、高效率的应用需求。
SiC银烧结、热压键合多种加热方案
国奥科技针对SiC银烧结工艺、热压键合TCB工艺研发了LRHS9440一体式ZR加热方案，以及全新双段式Z轴设计、小体积大推力ZR电机LRHS5040加热方案；具有精准温控、灵活均匀压力，以及卓越的Z+R运动控制精度等优势，能满足不同芯片元件需求，消除工艺过程中出现曲翘、倾斜、开裂等问题的风险。
提供“ZT双轴精密转台”等创新方案
采用自主研发的单动子双自由度电机解耦技术，可实现单个动子同步输出直线（Z轴）与旋转（T轴）运动，双磁场无耦合干扰；全气浮，纳米级精度，比肩全球Top标准；单动子直线+旋转双轴复合运动；可应用在光学耦合、晶圆缺陷检测、晶圆膜厚检测等场景。
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