金融界2025年8月1日消息，国家知识产权局信息显示，上海芯旺微电子技术股份有限公司申请一项名为“一种MEMS电容式压力传感器结构及其制造方法”的专利...
2025-08-02 0
芯旺微电子申请MEMS电容式压力传感器结构及其制造方法专利，方便和CMOS工艺进行单芯片集成
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2025年08月02日 01:23 0
admin
金融界2025年8月1日消息，国家知识产权局信息显示，上海芯旺微电子技术股份有限公司申请一项名为“一种MEMS电容式压力传感器结构及其制造方法”的专利，公开号CN120403925A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明公开了一种MEMS电容式压力传感器结构及其制造方法，属于压力传感器技术领域。采用平板式电容结构，在衬底进行掺杂得到掺杂层来形成电容式压力传感器的下极板，在其上淀积多层结构层来形成电容式压力传感器的上极板，所述上极板和下极板之间至下而上还设置有第一绝缘介质层和空腔。本发明结构简单，加工方便。同时整个加工工艺都是在基板的正面进行的，也就是所谓的平面工艺加工，不会需要用到正反面对准，可以非常方便和CMOS工艺进行单芯片集成。
天眼查资料显示，上海芯旺微电子技术股份有限公司，成立于2012年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本36000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯旺微电子技术股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息50条，专利信息32条，此外企业还拥有行政许可11个。
本文源自金融界
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