荷兰光刻机的制造技术超前，一台顶级光刻机9.4亿，美日都造不出

今日快讯 2025年10月12日 04:52 0 admin

从上世纪80年代起步，ASML这家公司就专注光刻，慢慢从深紫外爬到极紫外。EUV这技术，用13.5纳米的波长刻图案，精度细到头发丝的万分之一，芯片上能塞进上百亿晶体管。为什么超前？因为他们把光源、镜片和投影系统捏合得天衣无缝。

光源部分，用激光轰击熔融锡滴，每秒5万滴，生成等离子体发光，这过程得在真空里跑，避免空气吸收光线。镜片呢，全靠德国蔡司供货，多层镀膜反射率高达70%，每层纳米级厚薄，一丝偏差就废。投影系统则优化数值孔径到0.33，现在高NA版推到0.55，图案分辨率直奔8纳米以下。

整个机器重180吨，长14米，像个巨型精密仪器，组装在荷兰维尔德霍芬工厂，得两年时间，一年只出十几台。

美日为啥跟不上？美国有英特尔、应用材料这些巨头，资金和技术储备厚实，但他们卡在全链整合上。EUV项目美国能源部赞助过，可光学纯度和激光功率总差口气，供应链还依赖荷兰。

日本更早是光刻老大，尼康和佳能90年代占市场八成，深紫外做得溜，但转EUV时，涂层剥落率高，项目资金链绷紧，政府补贴跟不上，就这么落后了。现在日本产业省建R&D中心，装EUV工具试水，可离商用还远。

价格这块儿，9.4亿听着贵，可拆开看，每分钱都砸在高精零件上。标准EUV成本从光源的激光器到真空腔，全是定制货，高NA版直接翻倍，2025年出货价已到3亿欧元左右，折人民币超20亿。

为什么这么烧钱？因为制造过程严苛，洁净室空气颗粒少于0.1微米，工人全副武装，零件从全球空运，测试跑千小时，良率才过关。

客户买一台，不光机器，还得培训和维护，台积电、三星这些大厂2025年订单排到2026，backlog超300亿欧元。

对他们来说，这投资是赌注——用EUV产2纳米芯片，AI算力翻倍，回报几何级。

我国追赶的脚步没停，SMEE是领头羊，从2002年起步，2025年8月，他们的28纳米浸没式DUV已交付中芯，良率爬到85%。不是EUV，但对成熟工艺够用，国家大基金砸钱，建实验室，招全球人才。

EUV上，投资370亿欧元，目标自研光源和镜片，可技术壁垒厚，激光功率只到50瓦，ASML是250瓦，差距20年。还有纳米压印光刻，8月刚出第一台工具，300多家企业跟进，成本低三成，补EUV短板。

科研人员从高校到企业，跨墙协作，绕开封锁，专注硅光子和封装。自给率升了，进口少出口多，MIC25计划整体成功。不是一夜暴富，而是实打实积累。

ASML的EUV不只刻芯片，还推行业往前。2025年，高NA版首批交付，EXE平台支持高量产，几何缩放到下十年。

ASML的超前，让美日挠头，中国加劲儿，未来谁知道？

参考资料

不装了,荷兰就光刻机对中国亮明态度,日本意识到“上当”了搜狐网

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