ASML：40年来，中国购买的光刻机设备，超过1400台了

今日快讯 2025年11月01日 12:37 1 aa

ASML这家荷兰公司，在全球半导体设备市场上绝对是老大，尤其在光刻机领域，几乎垄断了高端货。说起和中国市场的关系，得从上世纪80年代说起。那时候，中国半导体产业才刚起步，基本靠进口设备来搞研究和生产。ASML自己也是1984年从飞利浦和ASM国际合资成立的，新公司急需订单来站稳脚跟。中国这边，第一笔接触是1986年，双方开始谈设备引进的事。到了1988年，才真正落地，第一台PAS 5000步进式光刻机卖给了清华大学，用来做科研和教学。这机器分辨率在200纳米级别，帮中国高校和实验室练手，熟悉光刻流程的基本操作。从那以后，合作就慢慢铺开了，中国成了ASML在亚洲的一个重要客户群。

90年代，中国半导体工厂开始多起来，市场需求从实验室转向实际生产线。ASML推出的PAS 5500系列，就成了热门货，这些设备能支持更细的图案转移，适合做逻辑芯片和内存。1992年，上海一些晶圆厂开始批量买，主要是生产模拟集成电路。那个年代，设备运过来得走海运，从荷兰港口发船，好几周才到中国，然后再陆运到厂里。安装起来也费劲，得校准光源和镜头，避免任何震动影响精度。到1995年，中国累计从ASML买的设备超过了20台，公司还在北京和上海设了支持中心，管备件和维修。中国厂家用这些机器，从250纳米制程起步，造些消费电子的简单元件，比如收音机里的芯片，产量逐步上来了。

进入2000年后，中国加入WTO，外资涌入，半导体产业加速。ASML抓住机会，1998年就开始给中芯国际供货，虽然中芯是2000年建的，但筹备阶段就签了合同。2001年，第一批NXT系列DUV光刻机装到上海浦东的厂区，这些用193纳米氟化氩激光，能处理多层掩膜。安装队里有荷兰工程师和中国本地人，一起调软件，优化曝光参数。到2004年，总数达到100台，包括步进扫描和浸没式。ASML在中国建了培训基地，教操作员怎么保养真空泵和光学件。中国半导体出口到东南亚，产量翻了好几倍。

2005年以后，中国政府推产业升级，投资大增。ASML的浸没式DUV设备如NXT:860，针对65纳米制程，2006年华虹半导体买了不少，用来做内存。机器重10吨多，运来用特制集装箱，安装得一个月，包括激光校准和洁净室对接。2008年全球金融危机，但中国市场没受太大影响，ASML对华销售比例反倒升了。到2010年，累计超过300台，公司在中国员工过500人，建了12个仓储点，24小时响应维修。中国企业用这些设备，生产智能手机芯片，本土品牌开始冒头。

2010年代，中国半导体追赶劲头足。2012年，ASML给长江存储供了EUV原型，但出口管制卡着，只限于测试。实际卖的多是DUV，2014年中芯国际引NXT:1980系列，做28纳米逻辑。这些支持双图案，提高分辨率。安装时调高压气体系统，工程师得穿防护服。到2015年，总量近600台，ASML参加进口博览会，秀新技术。中国厂家通过学习，设备利用率高，产量又翻倍。

2018年后，外部因素多，但合作没停。2019年，多家厂买浸没式，用来做汽车芯片。2020年疫情，供应链乱，但ASML空运备件保服务。到2022年，突破1000台，遍布全国晶圆厂。2023年，中国订单占ASML系统销售42%，设备造5G基站芯片。ASML中国总裁沈波管业务，监督安装升级。

从1986到2023年底，中国买的ASML光刻机和计量设备近1400台，2024年后超1400台。中国是ASML设备最多的市场。采购高峰2020年后，2023第三季度订单占比42%，包括NXT:1980Di浸没式DUV，用于28纳米上制程。这些支撑晶圆厂扩产，年均进口35台左右。设备不只新建厂，还升级老线，提高产量良率。ASML在中国有12个仓储，确保备件快达，少停机。中国企业掌握曝光剂量和对准精度。

中国为什么买这么多？半导体产业起步晚，技术水平集中在90纳米低端，得进口高端货。芯片制造离不开光刻机，中国发展芯片业，需求大，技术跟不上，就得多买。早期低端为主，后期转中高端DUV，但EUV因管制买不到。