中国首台纳米压印光刻机交付：打破美国垄断，国产芯片换道超车！

AI科技 2025年11月14日 20:21 1 admin

说起芯片制造，这几年中国企业可没少吃亏，美国那边各种出口管制，搞得高端设备进不来，尤其是那些动辄上亿美元的EUV光刻机，直接卡住了脖子。

结果呢，国内团队不服气，干脆换条路走，弄出了纳米压印这种另类技术。最近杭州璞璘科技就把他们自研的PL-SR设备交付了出去，这事儿在行业里炸了锅，因为它直接绕过了传统光刻的瓶颈，还把线宽压到了10纳米以下。

别小看这事儿，这不光是设备交付那么简单，它代表中国芯片产业开始从被动挨打转向主动出击，靠自主创新来破局。

先说说背景吧。芯片制造的核心就是光刻，把电路图案刻到硅片上。传统方式靠光线投影，但受限于光的波长，精度越来越难提升。ASML那种EUV设备用极紫外光，能做到几纳米级别，但价格贵得离谱，一台好几亿美金，还得排队买。

更气人的是，从2020年起，美国就开始限制这类设备对华出口，荷兰的ASML、日本的尼康都跟着停供，导致国内不少生产线卡壳。

璞璘科技这帮人从2017年公司成立时就瞄准了纳米压印这条路子，这技术其实是1995年左右美国人发明的，由周郁教授带头，但真正商用化的主要是日本佳能。他们垄断了市场，设备精度在14纳米左右，还把最新款列为禁运品。中国团队想买都买不到，只能自己干。

璞璘科技的PL-SR就是这么来的。它不是用光投影，而是像盖章一样，直接用模板压印图案到材料上。听起来简单吧？其实里面门道多着呢。公司团队九成以上是硕博生，积累了上百项专利，从材料到工艺全链条自己搞。

关键技术点包括喷墨涂胶，能把胶层厚度控制在10纳米内，避免浪费和不均匀；还有非真空贴合，让模板和晶圆完美贴合，没气泡没残渣；再加上模板拼接，能把小模板拼成12英寸大阵列，适合大规模生产。这些东西不是纸上谈兵，从实验室测试到工程验证，花了八年时间。2025年8月1日，这台设备终于通过验收，交付给国内一家做特色工艺的企业，初步用在存储芯片上。

为什么说这能打破垄断？因为传统EUV路线被美国卡得死死的，纳米压印是平行赛道，原理不同，不依赖那些进口光源和光学系统。PL-SR的成本只有EUV的四成，能耗低到一成，维护也简单多了。

佳能的FPA-1200NZ2C是2024年9月发布的，线宽14纳米，而PL-SR直接干到10纳米以下，在精度上就占了上风。更重要的是，这设备不光省钱，还特别适合某些领域。比如3D NAND存储芯片，图案重复率高，用压印方式复制效率高。长江存储这类企业正愁成本高产能低，现在有了国产替代，日子就好过了。硅光芯片和AR微显示器也适用，能快速迭代，不用等国外供货。

当然，这不是一蹴而就。璞璘科技从2017年起步，先是小团队在实验室玩模板实验，遇到胶层不均的问题，反复调参数，花了几个月才稳住。2018年他们和周郁教授合作，把理论转成工程，建起中试线。2020年疫情闹得供应链乱套，美国又加码管制，这时候团队咬牙优化脱模工艺，避免模板损伤。2022年他们突破面型控制，压印均匀性上去了。

2023年开始和下游企业联调，验证存储应用。2024年佳能新机一出，刺激他们加速集成自动化软件。到2025年上半年，设备终于成熟，8月交付那天，通过各项指标测试，直接上手生产。这过程一步步来，靠的是实打实的积累，不是天上掉馅饼。

换道超车的意思就在这儿。传统路被堵了，就不开车走小道。纳米压印不完美，对准精度现在10纳米级，逻辑芯片那种复杂图案还差点儿事儿，需要1纳米级别。但在存储和新兴领域，它已经能稳定投产。通过优化，能逐步扩展。

类似的事儿之前在OLED上发生过，合肥欣奕华2019年推出蒸镀机，精度1.5微米，打破日本垄断，到2025年，中国OLED面板份额超韩国，占全球一半。璞璘的PL-SR也能带动产业链重构，从下游芯片厂反推上游设备，吸引苹果这类国际客户买国产面板或设备。

璞璘创始人葛海雄教授，有20多年纳米压印经验，在普林斯顿实验室干过核心研发。公司和南京大学、中科大合作紧密，专利覆盖模板制造、缺陷管理等。不是吹，他们掌握这些，就等于在高端制程某些环节摆脱依赖。

全球半导体格局乱，美国管制让EUV断供，中国产能搁浅数百亿。现在PL-SR像场及时雨，帮企业解燃眉之急。华为昇腾AI芯片在全国数据中心上线，性能追英伟达，背后有国产设备的影子。

它不只是技术胜利，还是信心重建。中国从追赶者变成规则制定者，能在国际上发声。供应链协同加强，国家政策支持工业体系升级。未来，精度效率材料优化下去，逻辑芯片也能追上。芯片产业星辰大海，从这台设备开始渐行渐近。

不过话说回来，别以为这就万事大吉。纳米压印还有短板，对准精度得继续提升，模板切换频繁会影响效率。国际竞争激烈，佳能不会坐视不管，美国管制可能扩展到更多领域。

但中国团队的韧劲在那儿摆着，从无到有，八年交付一台设备，证明了自主可控不是空谈。国内企业用上自家东西，避免高价插队买国外货，那种憋屈日子一去不复返。

想想看，芯片制造以前像被绑着手脚打仗，现在多条腿走路，纳米压印就是新武器。存储芯片市场大，中国厂商能降本增效，抢占份额。

硅光领域用于数据中心，AI芯片需求爆棚，这设备能加速迭代。AR显示器是新兴热点，微纳结构正好用压印做。产业链上，中游材料供应商、下游组装厂都受益，形成闭环。

八年磨一剑，从实验室到产线，团队没少加班调试。结果呢，芯片产业多条出路，不再单靠进口。未来几年，精度到1纳米，应用扩展，国产芯片竞争力上台阶。

总之，这步棋走对了，换道超车不是梦。

盘点十款“财神十三张辅助工具有挂”（有没有猫腻)

分享玩家攻略“微信小程序内蒙麻将专用神器”（有什么规律)

发表评论

中国首台纳米压印光刻机交付：打破美国垄断，国产芯片换道超车！

盘点十款“财神十三张辅助工具有挂”（有没有猫腻)

分享玩家攻略“微信小程序内蒙麻将专用神器”（有什么规律)

热门文章

最新文章