国产光刻机来了！中国发布氟化氩光刻机，与荷兰仍有20年差距

今日快讯 2025年11月03日 20:50 0 admin

最近半导体圈子里闹得沸沸扬扬的，就是中国国产光刻机的事儿。说实话，这玩意儿是芯片制造的核心家伙什，大家都知道，高端芯片离不开它。以前中国在这块儿一直被卡脖子，尤其是被美国和荷兰那边盯着。现在终于有点动静了，工信部在2024年9月2日放出了一个目录，叫《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，里面就把氟化氩光刻机给列进去了。

这消息一出，国内媒体像观察者网啥的马上就跟进报道，国际上也议论纷纷。高盛那边在2024年9月的报告里还提了，说中国这步棋是回应出口管制的，但技术跟荷兰的ASML比，还差了20年左右。确实，这事儿得从头说起，不然光看标题容易觉得中国一下子就追上去了，其实路还长着呢。

从2022年开始，美国就开始在芯片出口上使劲儿管制中国。2022年10月，美国商务部出了新规，限制向中国卖先进计算芯片和制造设备。这直接波及到全球供应链，荷兰的ASML作为光刻机大头，就被卷进去了。

ASML的产品有深紫外线和极紫外线系统，用来做不同精细度的芯片。2023年3月，荷兰政府宣布限制出口某些浸没式深紫外线光刻机，比如NXT:2050i和NXT:2100i。这些设备能支持7纳米制程，通过多重曝光还能处理更细的节点。ASML当时说，2023年对华销售会受影响，但全年财务还稳得住。中国企业像中芯国际和华为海思，本来就靠这些进口设备撑着生产线。禁令一出，有些合同交付就耽搁了，供应链得赶紧调整。

2023年8月，华为出了Mate 60 Pro手机，里面用的是麒麟9000S芯片，7纳米工艺。分析说这是中芯国际代工的，可能用了库存的ASML深紫外线设备做多重曝光。彭博社报道，中芯国际在生产中还用了美国应用材料的设备，尽管有管制。

ASML确认，没卖过极紫外线机器给中国，但早年的深紫外线型号像1980i已经在华安装好多年了。2023年9月，ASML发言人说，对中国出口许可到年底有效，2024年起就拿不到新许可了。这让中国半导体产业感觉压力山大，企业开始加速国产替代。上海微电子装备集团是国内光刻机的主力，早从2018年就推出过90纳米分辨率的设备，2023年初听说启动第二代浸没式光刻机开发。研发这事儿得优化光学系统和激光源稳定，团队得整合各种资源来应对。

进入2024年，管制升级了。1月1日，荷兰政府部分撤销了之前批准的NXT:2050i和NXT:2100i出口许可，影响少数中国客户。ASML发了声明，说这调整是政府政策变了，已付订单没法交付。中国外交部回应，批评这种单边措施坏了全球贸易规矩。半导体协会数据，2024年上半年，中国芯片进口额降了，但国产设备采购涨了。

ASML季度报告，对华营收占比从2023年的46%掉到2024年的20%。9月6日，荷兰政府又扩大许可要求，包括1980i和1970i这些老型号。这些机器能追溯到上世纪90年代，用来做28纳米以上的制程。连维护服务都得申请许可，ASML说会遵守。中国企业担心设备老化，没法及时换零件。

就在这节骨眼上，工信部9月2日发了那个目录。文件支持创新装备产业化，电子专用装备类别下，有氟化氩光刻机。规格是深紫外线类型，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm，晶圆300毫米。发布后，观察者网9月14日解读，说这是国产化里程碑。上海微电子集团主导研发，从实验室到市场应用。目录吸引投资，好几家企业感兴趣，用在成熟制程线上。

国际反应快，高盛9月报告说，中国这是在填补供应链空缺，但水平跟ASML领先产品差20年。东方财富网2024年10月报道，国产设备小规模测试，良率在提。12月，美国更新管制规则，延到年底合规，ASML预计2025年影响可控。中国继续推自主链条，2025年上半年，上海微电子公布优化细节，加了多重曝光模块。

再说说设备本身。氟化氩光刻机用193纳米光源，分辨率65纳米以下，套刻精度8纳米以内，能加工300毫米晶圆。这属于干式深紫外线，能做28纳米制程芯片。跟荷兰ASML的极紫外线比，差距大。ASML已到3纳米，甚至更细，高盛2025年9月报告说，中国国产主要在65纳米，与ASML领先技术差20年。

ASML从90年代完善深紫外线和极紫外线，中国起步早，但受限多。ASML的NXT:1980i分辨率和产量更好。中国设备用多重曝光能接近5纳米，但电力水资源耗得多，良率低。差距在光源稳定、镜头精度和软件上。ASML有全球供应链，德国蔡司镜片，美国Cymer激光。中国得自主研发核心部件，目录推广就是让设备市场验证。

到2025年，事儿还在变。ASML预计2026年中国市场销售额下滑，2025年第三季度净销售额75亿欧元，对华收入少。2025年3月报道，ASML2024年从中国拿了800亿，占36.1%，2025年总收入可能不变。中国进口光刻机金额2024年101.95亿欧元，2025年上半年进口额降28%，国产份额超40%。ASML的深紫外线在中国占有率从2022年85%跌到52%。有报道说，中国试拆ASML旧深紫外线机逆向工程，但损坏了没法修。这显示技术壁垒高，得从基础研究做起。整个过程从美方管制，到荷兰跟进，中国发国产设备，是产业链博弈。企业合作受阻，但刺激本土投资。半导体市场数据，2025年中国芯片自给率超30%。

中国实现了低端光刻机国产化，填了部分空白。未来投钱优化光学软件，吸引人才缩差距。ASML因管制丢市场，中国工程师迭代，推动升级。2025年7月报告，国产光刻机依赖进口，但销售收入升，占41%。寡头垄断和管制，让中国保密好，美国知华为出手机，却不知芯片来源。专业看，氟化氩光刻机加多重曝光，能勉强到5纳米，但代价大。中国不缺资金，缺技术和人才，时间长了能进步。美国低估中国，导致策略调。荷兰跟美国，必失中国市场。

这事儿接地气说，就是中国在被堵路时，自己找条道走。光刻机不是一天造出来的，ASML集全球之力，中国得一步步来。差距20年不是吹的，但从0到1难，从1到2就顺了。工程师那股劲儿，值得点个赞。半导体战打到现在，中国没趴下，还在追，未来咋样，谁知道呢。

但事实摆着，国产设备开始上场了，虽然还不是主角，但总比没戏强。产业链长，涉及光学、材料、软件，每步都得实打实干。国际上，高盛那些报告客观，说中国有进步，但别急着吹上天。国内企业像上海微电子，积累多年，现在推广目录帮了忙，投资跟上，良率提了，市场就能认。反过来，ASML2025年财报预估下滑，中国市场丢了，股价波动大。全球半导体格局变，中国份额升，证明管制不总管用。

总的，这国产氟化氩光刻机是步子，但与荷兰差距实实在在。接地气讲，就是中国在夹缝中求生，工程师苦干，政策推，市场验。未来缩小差距，得靠积累，不是空喊。半导体这行，耐心最重要，谁笑到最后，还得看。