首页 景点排名文章正文

晶盛机电:公司自主研发的12英寸常压硅外延设备顺利交付国内头部客户

景点排名 2025年10月28日 22:43 0 aa

证券日报网讯 晶盛机电10月28日发布公告,在公司回答调研者提问时表示,在集成电路装备领域,公司自主研发的12英寸常压硅外延设备顺利交付国内头部客户,其电阻率、厚度均匀性、外延层缺陷密度、生产效率以及工艺重复性等关键指标达到国际先进水平。积极推进12英寸干进干出边抛机、12英寸双面减薄机等新产品的客户验证。12英寸硅减压外延生长设备顺利实现销售出货,设备采用单温区、多温区闭环控温模式,结合多真空区间精准控压技术,确保外延生长过程的高度稳定性,其独特的扁平腔体结构和多口分流系统设计,能够显著提升外延层的膜厚均匀性和掺杂均匀性,满足先进制程的高标准要求。成功开发应用于先进封装的超快紫外激光开槽设备,填补国内高端紫外激光开槽技术领域的空白,实现国产替代。

(编辑 袁冠琳)

发表评论

长征号 Copyright © 2013-2024 长征号. All Rights Reserved.  sitemap