墨科微电子申请硅片投影步进式光刻光路结构专利，结构简单精度高

今日新闻 2025年08月08日 12:11 0 aa

金融界2025年8月7日消息，国家知识产权局信息显示，墨科微电子（无锡）有限公司申请一项名为“一种硅片投影步进式光刻光路结构”的专利，公开号CN120428525A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本发明涉及光刻设备技术领域，公开了一种硅片投影步进式光刻光路结构，包括依次对应设置的UV‑LED多灯光源模、复眼前准直透镜组、均光模组和反射镜组件，反射镜组件反射光线方向依次设置有准直大透镜、掩膜、第一倍率镜组件、分光镜组件、第二倍率镜组件和光刻工作台，光刻工作台上设置有用于固定硅片的硅片固定结构且连接有用于调整光刻工作台移动进而控制光刻景深的工作台控制模组，分光镜组件将第一倍率镜组件射出光线分别分射至第二倍率镜组件方向和观测方向，观测方向依次设置有用于观测光线的观测镜组件、光栅组件和CCD组件，CCD组件与工作台控制模组相连。结构简单精度高，适用性强，成本低，可以有效满足小企业或者研发机构使用。

天眼查资料显示，墨科微电子（无锡）有限公司，成立于2023年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1600万人民币。通过天眼查大数据分析，墨科微电子（无锡）有限公司财产线索方面有商标信息3条，专利信息9条，此外企业还拥有行政许可2个。

本文源自金融界