格物感知申请3D异构集成的三轴一体MEMS陀螺仪专利，测量精度高

今日快讯 2025年11月08日 23:36 9 admin

金融界2025年8月8日消息，国家知识产权局信息显示，格物感知（深圳）科技有限公司申请一项名为“一种3D异构集成的三轴一体MEMS陀螺仪”的专利，公开号CN120445173A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本发明公开了一种3D异构集成的三轴一体MEMS陀螺仪，该MEMS陀螺仪包括第一结构单元层、第二结构单元层、中间极板层、衬底层、盖板层、第一腔室和第二腔室，两个结构单元层及中间极板层在垂直方向上通过异构集成组合在一起，使得X、Y、Z三个敏感轴向均构成“四质量”，以四质量块协同检测的形式进行角速度信号的检测，打破了传统2D平面布局设计的限制，测量精度高、振动抑制性能好，抗环境干扰能力强；且结构单元层中X、Y、Z三个敏感轴向的检测质量块之间没有耦合连接，每一轴向的检测质量块在各自驱动方向上的运动均由驱动质量块通过弹性梁直接带动，消除了不同轴向检测模态之间的相互干扰，具有更低的交叉耦合误差。

天眼查资料显示，格物感知（深圳）科技有限公司，成立于2017年，位于深圳市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本11493.33万人民币。通过天眼查大数据分析，格物感知（深圳）科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息26条，此外企业还拥有行政许可7个。

本文源自金融界