继上海微电子之后，又一家中国企业推出光刻机，这次是大族激光？

景点排名 2025年11月13日 10:11 0 aa

中国在半导体设备这块，尤其是光刻机，一直是个热点话题。大家都知道，这玩意儿是芯片制造的核心，高端的那些基本被国外垄断着。但最近几年，国内企业没闲着，上海微电子作为领头羊，搞出了不少成果。现在，又有大族激光加入进来，也推出了自己的光刻机产品。

上海微电子装备集团，简称SMEE，2002年就成立了，总部在上海张江高科技园区。从一开始，这家公司就盯着光刻技术本土化发力。早期，他们主要做投影式光刻机的研发，针对集成电路的需求，投入大把资源去攻克光学系统和精密控制这些难题。到2007年，他们掌握了波长365纳米的i线光刻技术，这直接支撑了90纳米制程的生产线。想想看，那时候国内厂商对进口设备依赖很大，这一步帮着减少了不少压力。研发过程其实挺艰苦的，工程师们得反复测试光源稳定性和曝光均匀度，确保机器在工厂里能稳稳当当跑起来。

2008年以后，上海微电子开始小批量生产测试机型，供给一些晶圆厂验证用，顺便收集反馈来改软件和机械部分。2010年左右，他们的设备慢慢进入市场，覆盖110纳米和280纳米这些节点，主要用在功率器件和模拟芯片上。这些机型用干式深紫外光源，套刻精度能到几十纳米，每小时处理几十片晶圆。2012年，他们参与国家重大专项，推动光刻机国产化率上去，从零部件买到组装测试，全链条都抓在手里。2014年，推出600系列改进版，加了自动对准功能，操作员少插手，生产线效率提了不少。

到了2016年，上海微电子实现90纳米、110纳米和280纳米的批量供应，好几家企业用上了，主要是8英寸和12英寸晶圆线的大规模制造。供应时，他们还提供现场安装和维护，确保设备快上线。2018年，加大研发，针对更细节点预研，包括浸没式技术。2020年，全球供应链一乱，他们加速关键部件国产化，比如激光光源和镜头本地供。2022年2月，首台2.5D/3D先进封装光刻机组装测试完事，这款专为芯片下游设计，支持高密度集成。设备用投影曝光，分辨率适合微米级图案，适用于数据中心和AI芯片封装。交付前，内部验证好几轮，模拟生产场景，查套刻精度和产量稳不稳。

2022年7月，在昆山交付仪式上，两套金凸起光刻机给了通兴达公司，每台卖1800万左右。通兴达整合进生产线，培训技术员操作界面和故障排。投产后，检测效率涨了，合格率提10%多，还配远程监控实时分析。上海微电子这些动作，填了国内封装光刻空白，推动上下游合作，比如和材料商开发光刻胶。2023年，继续迭代封装机型，加了大尺寸晶圆兼容，满足2.5D叠层。2024年，90纳米前道光刻机稳定量产，出货占国内市场80%多。

进入2025年，上海微电子在先进节点有突破。5月，交付首台28纳米浸没式光刻机，用40W到60W的ArF激光，光源重频6KHz，国产化率超85%。交付给几家晶圆厂，用在7纳米以上非关键层曝光。9月，公布部件国产细节，光源由科益虹源供，稳定性99.99%。这些步子，从后道封装往前道制造延伸，慢慢缩小和国际大厂的差距。目前，他们最强的SSX600系列，能用于90nm量产，正在搞28nm浸没式DUV，EUV还在预研阶段。2月，28nm浸没式DUV进入产品验证，但EUV预研中。9月，极紫外EUV参数图首次亮相，显示他们在EUV上也有动作，虽是预研，但参数图公开是个信号。

话说回来，上海微电子的强大不只在前道芯片，还在后道封测。为晶圆厂商供封装式光刻设备，提升检测率和品质。像给通兴达的两套，就是黄金突起光刻机，已投产，产量大增。上海微电子的路子务实，先解决90nm到28nm的吃饭问题，保障大部分芯片自主生产，同时预研EUV。国家政策支持下，他们加速突破，产能虽还受限，但进展明显。

现在，转到大族激光。这家是激光设备老大，国际上排前三，营收超160亿。2022年，他们公布光刻机项目，分辨率3到5微米，主打分立器件和LED生产，不是集成电路核心制造。设备分接近式和步进式，适用于4到6英寸硅或蓝宝石芯片。大族激光不是芯片为主，而是智能化产品，分立器件、数控系统、工业软件，还涉激光加工。

2023年2月，确认接近式光刻机已销售，接到订单，用在光伏和化合物半导体。步进式在用户测试优化。LED步进式针对基底，大视场曝光，少步骤，高产量，线宽一致。分立器件包括二极管、晶体管，5G通讯和功率器件也用。设备自动化双工位，高套刻精度，支持光伏和半导体生产。2023年5月，强调这些光刻机限分立器件部分环节，没扩展到完整制造。

大族激光的光刻机上市后，市场份额扩。2023年，入选广东企业500强，92名，民营100强74名。2024年，升84名，制造业100强77名。2025年上半年，净利润8.2亿，激光切割和医疗设备销量推营收。光刻机订单增，虽分辨率中低，但满足工业需求。公司持续投研发，巩固国内激光仪器领先。

大族激光的路子和上海微电子不一样，他们专注工业化生产的光刻机，不是前后道那种。作用不同，大族激光向高品质迈进。市场占有率升，地位稳。作为中国激光仪器龙头，国际第三，产品受欢迎。光刻技术是他们核心，会不会深挖行业？他们有打算，但凡事有度。

从历史看，光刻机五个时代：g线、i线、KrF、ArF、EUV。最高EUV是13.5nm，批量高品质晶圆。接近式光刻是低级工艺，有潜力。大族激光的紧凑型在改进，市场有空间。一台光刻机价格按应用算，不是速度。生产独立设备或成熟芯片，不必最先进，普通也行。

上海微电子的封装式比前道便宜，但包装工业布局高端，晶圆叠层、小型科技发展。机遇扩。只有满足需要，才最大利润。大族激光的切合式也为自家需要，投放市场，有价值。

整体，中国光刻机产业链在2025年有新动静。市场规模预计252亿美元，国内企业加速。哈尔滨工业大学13.5nm极紫外光源突破，中科院上海光机所全固态深紫外系统。EUV机器2025第三季度试产，用激光诱导放电等离子体，简单节能。

继上海微电子之后，又一家中国企业推出光刻机，这次是大族激光？

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